Počet záznamů: 1  

Automated system for optical inspection of defects in resist coated non-patterned wafer.

  1. SYS0512149
    LBL
      
    01000a^^22220027750^450
    005
      
    20200514222559.7
    017
      
    $2 DOI
    100
      
    $a 20191202d m y slo 03 ba
    101
      
    $a eng $d eng
    102
      
    $a JO
    200
    1-
    $a Automated system for optical inspection of defects in resist coated non-patterned wafer.
    215
      
    $a 1 s. $c P
    463
    -1
    $1 001 cav_un_epca*0512148 $1 200 1 $a Fourth International Symposium on Dielectric Materials and Applications (ISyDMA 4). Book of Abstracts $1 210 $a Amman $c Jordan University of Science & Technology $d 2019
    610
      
    $a dielectric surface inspection
    610
      
    $a resist coated wafer
    700
    -1
    $3 cav_un_auth*0299810 $a Knápek $b Alexandr $p UPT-D $o D2: Speciální technologie $i D2: Speciální technologie $j D2: New Technologies $w New Technologies $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
    701
    -1
    $3 cav_un_auth*0367755 $a Drozd $b Michal $p UPT-D $o D2: Speciální technologie $i D2: Speciální technologie $j D2: New Technologies $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
    701
    -1
    $3 cav_un_auth*0258195 $a Matějka $b Milan $p UPT-D $o D2: Speciální technologie $i D2: Speciální technologie $j D2: New Technologies $w New Technologies $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
    701
    -1
    $3 cav_un_auth*0301528 $a Chlumská $b Jana $p UPT-D $o D2: Speciální technologie $i D2: Speciální technologie $j D2: New Technologies $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
    701
    -1
    $3 cav_un_auth*0258661 $a Král $b Stanislav $p UPT-D $o D2: Speciální technologie $i D2: Speciální technologie $j D2: New Technologies $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
    701
    -1
    $3 cav_un_auth*0101578 $a Kolařík $b Vladimír $p UPT-D $o D2: Speciální technologie $i D2: Speciální technologie $j D2: New Technologies $w New Technologies $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
Počet záznamů: 1