Počet záznamů: 1
Automated inspection of PMMA coating on non-patterned silicon wafers
SYS 0511777 LBL 01000a^^22220027750^450 005 20240103223017.7 017 $2 DOI 100 $a 20191127d m y slo 03 ba 101 $a eng $d eng 200 1-
$a Automated inspection of PMMA coating on non-patterned silicon wafers 215 $a 1 s. $c P 463 -1
$1 001 cav_un_epca*0511804 $1 200 1 $a 11th International Conference on Instrumental Methods of Analysis: Modern Trends and Applications, IMA-2019. Book of abstracts $v S. 162 $1 210 $a - $c - $d 2019 610 $a dielectric surface inspection 610 $a resist coated wafer 700 -1
$3 cav_un_auth*0299810 $a Knápek $b Alexandr $p UPT-D $i D2: Speciální technologie $j D2: New Technologies $w New Technologies $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0367755 $a Drozd $b Michal $p UPT-D $i D2: Speciální technologie $j D2: New Technologies $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0258195 $a Matějka $b Milan $p UPT-D $i D2: Speciální technologie $j D2: New Technologies $w New Technologies $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0301528 $a Chlumská $b Jana $p UPT-D $i D2: Speciální technologie $j D2: New Technologies $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0258661 $a Král $b Stanislav $p UPT-D $i D2: Speciální technologie $j D2: New Technologies $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0101578 $a Kolařík $b Vladimír $p UPT-D $i D2: Speciální technologie $j D2: New Technologies $w New Technologies $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
Počet záznamů: 1