Počet záznamů: 1
Aparatura pro detekci nečistot v naneseném rezistu
SYS 0496767 LBL 01000a^^22220027750^450 005 20240103220934.4 100 $a 20181120d m y slo 03 ba 101 $a cze 102 $a CZ 200 1-
$a Aparatura pro detekci nečistot v naneseném rezistu 210 $d 2018 541 $a Apparatus for detecting of particles in coated resist layer $z eng 610 $a e–beam lithography 610 $a quality control 610 $a image processing 700 -1
$3 cav_un_auth*0367755 $a Drozd $b Michal $i D2: Speciální technologie $j D2: New Technologies $p UPT-D $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0299810 $a Knápek $b Alexandr $i D1: Elektronová mikroskopie $j D1: Electron Microscopy $p UPT-D $w New Technologies $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0258661 $a Král $b Stanislav $i D2: Speciální technologie $j D2: New Technologies $p UPT-D $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0258195 $a Matějka $b Milan $i D2: Speciální technologie $j D2: New Technologies $p UPT-D $w New Technologies $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0301528 $a Chlumská $b Jana $i D2: Speciální technologie $j D2: New Technologies $p UPT-D $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0321728 $a Pavelka $b Jan $i D6: Koherenční optika $j D6: Coherents Optics $p UPT-D $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0101578 $a Kolařík $b Vladimír $i D2: Speciální technologie $j D2: New Technologies $p UPT-D $w New Technologies $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0287343 $a Krátký $b Stanislav $i D2: Speciální technologie $j D2: New Technologies $p UPT-D $w New Technologies $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0101553 $a Horáček $b Miroslav $i D2: Speciální technologie $j D2: New Technologies $p UPT-D $w New Technologies $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0311793 $a Meluzín $b Petr $i D2: Speciální technologie $j D2: New Technologies $p UPT-D $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
Počet záznamů: 1