Počet záznamů: 1  

Towards high quality ITO coatings: the impact of nitrogen admixture in HiPIMS discharges

  1. SYS0489659
    LBL
      
    01000a^^22220027750^450
    005
      
    20240103220022.6
    014
      
    $a 85037984029 $2 SCOPUS
    014
      
    $a 000424720800014 $2 WOS
    017
    70
    $a 10.1016/j.surfcoat.2017.12.030 $2 DOI
    100
      
    $a 20180522d m y slo 03 ba
    101
    0-
    $a eng
    102
      
    $a CH
    200
    1-
    $a Towards high quality ITO coatings: the impact of nitrogen admixture in HiPIMS discharges
    215
      
    $a 8 s.
    463
    -1
    $1 001 cav_un_epca*0257628 $1 011 $a 0257-8972 $1 200 1 $a Surface and Coatings Technology $v Roč. 335, Feb (2018), s. 126-133 $1 210 $c Elsevier
    608
      
    $a Article
    610
      
    $a film properties
    610
      
    $a HiPIMS
    610
      
    $a ITO
    610
      
    $a plasma deposition
    700
    -1
    $3 cav_un_auth*0221302 $a Straňák $b V. $y CZ
    701
    -1
    $3 cav_un_auth*0257507 $a Bogdanowicz $b R. $y PL
    701
    -1
    $3 cav_un_auth*0358493 $a Sezemsky $b P. $y CZ
    701
    -1
    $3 cav_un_auth*0257508 $a Wulff $b H. $y DE
    701
    -1
    $3 cav_un_auth*0360821 $4 070 $a Kruth $b A. $y DE
    701
    -1
    $3 cav_un_auth*0231314 $a Smietana $b M. $y FR
    701
    -1
    $3 cav_un_auth*0299394 $a Kratochvíl $b J. $y CZ
    701
    -1
    $3 cav_un_auth*0100168 $a Čada $b Martin $i Nízkoteplotní plazma $j Low-Temperature Plasma $p FZU-D $w Low-Temperature Plasma $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
    701
    -1
    $3 cav_un_auth*0100245 $a Hubička $b Zdeněk $i Nízkoteplotní plazma $j Low-Temperature Plasma $p FZU-D $w Low-Temperature Plasma $z K $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
Počet záznamů: 1  

  Tyto stránky využívají soubory cookies, které usnadňují jejich prohlížení. Další informace o tom jak používáme cookies.