Počet záznamů: 1
Lift-off technology for thick metallic microstructures
SYS 0485656 LBL 01000a^^22220027750^450 005 20240103215458.6 014 $a 000434346900208 $2 WOS 017 $2 DOI 100 $a 20180126d m y slo 03 ba 101 $a eng $d eng 102 $a CZ 200 1-
$a Lift-off technology for thick metallic microstructures 215 $a 5 s. $c C 463 -1
$1 001 cav_un_epca*0485655 $1 010 $a 978-80-87294-79-6 $1 200 1 $a METAL 2017. 26th International Conference on Metallurgy and Materials. Conference Proceedings $v S. 1298-1302 $1 210 $a Ostrava $c TANGER $d 2017 610 $a lift-off technique 610 $a SU-8 photoresist 610 $a e-beam lithography 610 $a thick layer evaporation 700 -1
$3 cav_un_auth*0287343 $a Krátký $b Stanislav $i D2: Speciální technologie $j D2: New Technologies $p UPT-D $w New Technologies $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0101553 $a Horáček $b Miroslav $i D2: Speciální technologie $j D2: New Technologies $p UPT-D $w New Technologies $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0311793 $a Meluzín $b Petr $i D2: Speciální technologie $j D2: New Technologies $p UPT-D $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0101578 $a Kolařík $b Vladimír $i D2: Speciální technologie $j D2: New Technologies $p UPT-D $w New Technologies $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0258195 $a Matějka $b Milan $i D2: Speciální technologie $j D2: New Technologies $p UPT-D $w New Technologies $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0267376 $a Oulehla $b Jindřich $i D6: Koherenční optika $j D6: Coherents Optics $p UPT-D $w Coherents Optics $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0357428 $a Pesic $b Z. $y GB
Počet záznamů: 1