Počet záznamů: 1  

Ovrstvení Si desek tlustou vrstvou rezistu a kontrola vrstvy

  1. SYS0478403
    LBL
      
    01000a^^22220027750^450
    005
      
    20240103214539.9
    100
      
    $a 20170925d m y slo 03 ba
    101
      
    $a cze
    102
      
    $a CZ
    200
    1-
    $a Ovrstvení Si desek tlustou vrstvou rezistu a kontrola vrstvy
    210
      
    $d 2017
    541
      
    $a Thick layer coating on Si wafers and the control of the layer $z eng
    610
      
    $a e-beam lithography
    610
      
    $a PMMA rezist
    610
      
    $a thick layers
    610
      
    $a spin coating
    700
    -1
    $3 cav_un_auth*0301528 $a Chlumská $b Jana $i D2: Speciální technologie $j D2: New Technologies $p UPT-D $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
    701
    -1
    $3 cav_un_auth*0258195 $a Matějka $b Milan $i D2: Speciální technologie $j D2: New Technologies $p UPT-D $w New Technologies $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
    701
    -1
    $3 cav_un_auth*0101578 $a Kolařík $b Vladimír $i D2: Speciální technologie $j D2: New Technologies $p UPT-D $w New Technologies $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
Počet záznamů: 1  

  Tyto stránky využívají soubory cookies, které usnadňují jejich prohlížení. Další informace o tom jak používáme cookies.