Počet záznamů: 1
Coordinate interferometric measuring system for positioning of a sample in electron-beam writer
SYS 0467527 LBL 01000a^^22220027750^450 005 20240103213204.4 017 $2 DOI 100 $a 20161219d m y slo 03 ba 101 $a eng $d eng 102 $a PL 200 1-
$a Coordinate interferometric measuring system for positioning of a sample in electron-beam writer 215 $a 1 s. $c P 463 -1
$1 200 1 $a NanoScale 2016. 11th Seminar on Quantitative Microscopy (QM) and 7th Seminar on Nanoscale Calibration Standards and Methods $1 210 $a Wroclaw $c Wroclaw University of Technology $d 2016 610 $a SPM 610 $a nanometrology 610 $a nanoscale 610 $a nanopositioning interferometry 700 -1
$3 cav_un_auth*0101586 $a Lazar $b Josef $i D6: Koherenční optika $j D6: Coherents Optics $p UPT-D $w Coherents Optics $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0286699 $a Holá $b Miroslava $i D6: Koherenční optika $j D6: Coherents Optics $p UPT-D $w Coherents Optics $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0222152 $a Hrabina $b Jan $i D6: Koherenční optika $j D6: Coherents Optics $p UPT-D $w Coherents Optics $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0267376 $a Oulehla $b Jindřich $i D6: Koherenční optika $j D6: Coherents Optics $p UPT-D $w Coherents Optics $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0101538 $a Číp $b Ondřej $i D6: Koherenční optika $j D6: Coherents Optics $p UPT-D $w Coherents Optics $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0219169 $a Valtr $b M. $y CZ 701 -1
$3 cav_un_auth*0221074 $a Klapetek $b P. $y CZ
Počet záznamů: 1