Počet záznamů: 1
Measurements of current density distribution in shaped e-beam writers
SYS 0454665 LBL 02802^^^^^2200409^^^450 005 20240103211658.4 014 $a 000367420200021 $2 WOS 014 $a 84944145588 $2 SCOPUS 017 70
$a 10.1016/j.mee.2015.09.013 $2 DOI 100 $a 20160121d m y slo 03 ba 101 0-
$a eng $d eng 102 $a NL 200 1-
$a Measurements of current density distribution in shaped e-beam writers 215 $a 8 s. $c P 463 -1
$1 001 cav_un_epca*0254361 $1 011 $a 0167-9317 $e 1873-5568 $1 200 1 $a Microelectronic Engineering $v Roč. 149, JAN 5 (2016), s. 117-124 $1 210 $c Elsevier 610 0-
$a shaped e-beam writer 610 0-
$a electron beam 610 0-
$a current density 700 -1
$3 cav_un_auth*0276061 $a Bok $b Jan $i D1: Elektronová mikroskopie $j D1: Electron Microscopy $p UPT-D $4 070 $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0101553 $a Horáček $b Miroslav $i D2: Speciální technologie $j D2: New Technologies $p UPT-D $w New Technologies $4 070 $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0101578 $a Kolařík $b Vladimír $i D2: Speciální technologie $j D2: New Technologies $p UPT-D $w New Technologies $4 070 $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0223246 $a Urbánek $b Michal $i D2: Speciální technologie $j D2: New Technologies $p UPT-D $w New Technologies $4 070 $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0258195 $a Matějka $b Milan $i D2: Speciální technologie $j D2: New Technologies $p UPT-D $w New Technologies $4 070 $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0286053 $a Krzyžánek $b Vladislav $i D1: Elektronová mikroskopie $j D1: Electron Microscopy $p UPT-D $w Electron Microscopy $4 070 $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
Počet záznamů: 1