Počet záznamů: 1
The combined technological methods for deposition of Si:H thin films and structures with in situ embedded nanoparticles
SYS 0451866 LBL 02885^^^^^2200457^^^450 005 20240103211346.0 017 70
$a 10.1166/asem.2015.1689 $2 DOI 100 $a 20151204d m y slo 03 ba 101 0-
$a eng 102 $a US 200 1-
$a The combined technological methods for deposition of Si:H thin films and structures with in situ embedded nanoparticles 215 $a 5 s. 463 -1
$1 001 cav_un_epca*0398487 $1 011 $a 2164-6627 $1 200 1 $a Advanced Science, Engineering and Medicine $v Roč. 7, č. 4 (2015), s. 265-269 610 0-
$a PECVD 610 0-
$a RDE 610 0-
$a LA 610 0-
$a RLA 610 0-
$a VE 610 0-
$a PT 700 -1
$3 cav_un_auth*0100533 $i Tenké vrstvy a nanostruktury $j Thin Films and Nanostructures $w Thin Films and Nanostructures $4 070 $a Stuchlík $b Jiří $p FZU-D $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0100534 $i Tenké vrstvy a nanostruktury $j Thin Films and Nanostructures $w Thin Films and Nanostructures $4 070 $a Stuchlíková $b The-Ha $p FZU-D $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0100485 $i Optické materiály $j Optical Materials $w Optical Materials $4 070 $a Remeš $b Zdeněk $p FZU-D $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0206015 $i Optické materiály $j Optical Materials $4 070 $a Purkrt $b Adam $p FZU-D $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0103253 $i Oddělení analytické a materiálové chemie $j Department of Analytical and Material Chemistry $w Department of Laser Chemistry $4 070 $a Fajgar $b Radek $p UCHP-M $T Ústav chemických procesů AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0287685 $i Oddělení analytické a materiálové chemie $j Department of Analytical and Material Chemistry $w Department of Laser Chemistry $4 070 $a Koštejn $b Martin $p UCHP-M $T Ústav chemických procesů AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0312898 $4 070 $a Zhuravlev $b K. $y RU 701 -1
$3 cav_un_auth*0103307 $i Oddělení analytické a materiálové chemie $j Department of Analytical and Material Chemistry $w Department of Laser Chemistry $4 070 $a Kupčík $b Jaroslav $p UCHP-M $T Ústav chemických procesů AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0323526 $4 070 $a Sveshnikova $b L. $y RU 701 -1
$3 cav_un_auth*0298202 $4 070 $a Galkin $b K.N. $y RU 701 -1
$3 cav_un_auth*0298201 $4 070 $a Galkin $b N.G. $y RU
Počet záznamů: 1