Počet záznamů: 1
Multitarget sputtering of piezoelectric mixed oxide thin films onto flexible substrates
SYS 0450607 LBL 02410^^^^^2200385^^^450 005 20240103211217.8 017 70
$a 10.4028/www.scientific.net/SSP.230.3 $2 DOI 100 $a 20151118d m y slo 03 ba 101 0-
$a eng 102 $a CH 200 1-
$a Multitarget sputtering of piezoelectric mixed oxide thin films onto flexible substrates 215 $a 5 s. $c E 463 -1
$1 001 cav_un_epca*0450611 $1 010 $a 978-3-03835-428-4 $1 011 $a 1662-9779 $1 200 1 $a Oxide Materials for Electronic Engineering - Fabrication, Properties and Application, vol. 230 $i Solid State Phenomena $v S. 3-7 $1 210 $a Pfaffikon $c Scientific.Net $d 2015 $1 225 $a Solid State Phenomena $v 230 $1 702 1 $a Ubizskii $b S. $4 340 $1 702 1 $a Vasylechko $b L. $4 340 $1 702 1 $a Zhydachevskii $b Y. $4 340 610 0-
$a complex oxide film deposition 610 0-
$a PZT 610 0-
$a multitarget reactive magnetron sputtering 610 0-
$a flexible polymer substrate 610 0-
$a XPS 610 0-
$a PFM 700 -1
$3 cav_un_auth*0290326 $a Kleiner $b A. $y DE $4 070 701 -1
$3 cav_un_auth*0015926 $a Suchaneck $b G. $y DE $4 070 701 -1
$3 cav_un_auth*0255904 $a Dejneka $b Alexandr $i Optické a biofyzikální systémy $j Optical and Biophysical Systems $p FZU-D $w Optical and Biophysical Systems $4 070 $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0100259 $a Jastrabík $b Lubomír $i Nízkoteplotní plazma $j Low-Temperature Plasma $p FZU-D $w Low-Temperature Plasma $4 070 $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0275002 $a Lavrentiev $b V. $y RU $4 070 701 -1
$3 cav_un_auth*0322187 $a Kiselev $b D.A. $y RU $4 070 701 -1
$3 cav_un_auth*0016601 $a Gerlach $b G. $y DE $4 070
Počet záznamů: 1