Počet záznamů: 1  

Ionization of sputtered Ti, Al, and C coupled with plasma characterization in HiPIMS

  1. SYS0449520
    LBL
      
    02386^^^^^2200373^^^450
    005
      
    20240103211035.4
    014
      
    $a 84937554357 $2 SCOPUS
    014
      
    $a 000356857800043 $2 WOS
    017
    70
    $a 10.1088/0963-0252/24/3/035018 $2 DOI
    100
      
    $a 20151103d m y slo 03 ba
    101
    0-
    $a eng
    102
      
    $a GB
    200
    1-
    $a Ionization of sputtered Ti, Al, and C coupled with plasma characterization in HiPIMS
    215
      
    $a 11 s.
    463
    -1
    $1 001 cav_un_epca*0254752 $1 011 $a 0963-0252 $e 1361-6595 $1 200 1 $a Plasma Sources Science & Technology $v Roč. 24, č. 3 (2015), s. 035018 $1 210 $c Institute of Physics Publishing
    610
    0-
    $a IPVD
    610
    0-
    $a HiPIMS
    610
    0-
    $a HPPMS
    610
    0-
    $a Langmuir probe
    610
    0-
    $a ion meter
    700
    -1
    $3 cav_un_auth*0302435 $4 070 $a Lundin $b D. $y FR
    701
    -1
    $3 cav_un_auth*0100168 $i Nízkoteplotní plazma $j Low-Temperature Plasma $w Low-Temperature Plasma $4 070 $a Čada $b Martin $p FZU-D $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
    701
    -1
    $3 cav_un_auth*0100245 $i Nízkoteplotní plazma $j Low-Temperature Plasma $w Low-Temperature Plasma $4 070 $a Hubička $b Zdeněk $p FZU-D $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
Počet záznamů: 1  

  Tyto stránky využívají soubory cookies, které usnadňují jejich prohlížení. Další informace o tom jak používáme cookies.