Počet záznamů: 1
Multi-SWD plasma jet system for PECVD deposition of thin films
SYS 0438735 LBL 02133^^^^^2200385^^^450 005 20240103205451.9 014 $a 000344548300089 $2 WOS 014 $a 84908393981 $2 SCOPUS 017 70
$a 10.1109/TPS.2014.2314214 $2 DOI 100 $a 20150108d m y slo 03 ba 101 0-
$a eng 102 $a US 200 1-
$a Multi-SWD plasma jet system for PECVD deposition of thin films 215 $a 2 s. 463 -1
$1 001 cav_un_epca*0256726 $1 011 $a 0093-3813 $e 1939-9375 $1 200 1 $a IEEE Transactions on Plasma Science $v Roč. 42, č. 10 (2014), s. 2502-2503 $1 210 $c Institute of Electrical and Electronics Engineers 610 0-
$a nuclear and plasma sciences 610 0-
$a plasma applications 610 0-
$a plasma devices 610 0-
$a plasmas 700 -1
$3 cav_un_auth*0098251 $a Olejníček $b Jiří $i Vlnové a částicové šíření světla, optické technologie a materiály $j Wave and corpuscular light propagation, optical technologies and materials $p FZU-D $w Low-Temperature Plasma $4 070 $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0100168 $a Čada $b Martin $i Vlnové a částicové šíření světla, optické technologie a materiály $j Wave and corpuscular light propagation, optical technologies and materials $p FZU-D $w Low-Temperature Plasma $4 070 $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0278316 $a Šmíd $b Jiří $i Vlnové a částicové šíření světla, optické technologie a materiály $j Wave and corpuscular light propagation, optical technologies and materials $p FZU-D $4 070 $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0234460 $a Kment $b Štěpán $i Vlnové a částicové šíření světla, optické technologie a materiály $j Wave and corpuscular light propagation, optical technologies and materials $p FZU-D $w Low-Temperature Plasma $4 070 $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0100245 $a Hubička $b Zdeněk $i Vlnové a částicové šíření světla, optické technologie a materiály $j Wave and corpuscular light propagation, optical technologies and materials $p FZU-D $w Low-Temperature Plasma $4 070 $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
Počet záznamů: 1