Počet záznamů: 1
Measurement of current density distribution in shaped e-beam writers
SYS 0434105 LBL 02450^^^^^2200397^^^450 005 20240103204925.0 100 $a 20141106d m y slo 03 ba 101 0-
$a eng $d eng 102 $a CZ 200 1-
$a Measurement of current density distribution in shaped e-beam writers 215 $a 2 s. $c E 463 -1
$1 001 cav_un_epca*0434117 $1 010 $a 978-80-260-6720-7 $1 200 1 $a 18th International Microscopy Congres. Proceedings $1 210 $a Praha $c Czechoslovak Microscopy Society $d 2014 610 0-
$a e-beam writer 610 0-
$a current density 700 -1
$3 cav_un_auth*0101553 $a Horáček $b Miroslav $i D2: Speciální technologie $j D2: New Technologies $p UPT-D $w New Technologies $4 070 $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0276061 $a Bok $b Jan $i D1: Elektronová mikroskopie $j D1: Electron Microscopy $p UPT-D $4 070 $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0101578 $a Kolařík $b Vladimír $i D2: Speciální technologie $j D2: New Technologies $p UPT-D $w New Technologies $4 070 $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0223246 $a Urbánek $b Michal $i D2: Speciální technologie $j D2: New Technologies $p UPT-D $w New Technologies $4 070 $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0258195 $a Matějka $b Milan $i D2: Speciální technologie $j D2: New Technologies $p UPT-D $w New Technologies $4 070 $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0287343 $a Krátký $b Stanislav $i D2: Speciální technologie $j D2: New Technologies $p UPT-D $w New Technologies $4 070 $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
Počet záznamů: 1