Počet záznamů: 1
Modified knife-edge method for current density distribution measurements in e-beam writers
SYS 0397634 LBL 02370^^^^^2200421^^^450 005 20240103203127.0 014 $a 000320130500054 $2 WOS 014 $a 84878371877 $2 SCOPUS 017 70
$a 10.1116/1.4802920 $2 DOI 100 $a 20140227d m y slo 03 ba 101 0-
$a eng $d eng 102 $a US 200 1-
$a Modified knife-edge method for current density distribution measurements in e-beam writers 215 $a 6 s. $c P 463 -1
$1 001 cav_un_epca*0254104 $1 011 $a 1071-1023 $1 200 1 $a Journal of Vacuum Science & Technology B $v Roč. 31, č. 3 (2013), 031603:1-6 $1 210 $c American Institute of Physics 610 0-
$a electron-beam 610 0-
$a intensity distribution 610 0-
$a aperture 610 0-
$a detector 610 0-
$a profile 610 0-
$a size 700 -1
$3 cav_un_auth*0276061 $a Bok $b Jan $i D1: Elektronová mikroskopie $j D1: Electron Microscopy $p UPT-D $4 070 $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0101578 $a Kolařík $b Vladimír $i D2: Speciální technologie $j D2: New Technologies $p UPT-D $w New Technologies $4 070 $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0101553 $a Horáček $b Miroslav $i D2: Speciální technologie $j D2: New Technologies $p UPT-D $w New Technologies $4 070 $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0258195 $a Matějka $b Milan $i D2: Speciální technologie $j D2: New Technologies $p UPT-D $w New Technologies $4 070 $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0101592 $a Matějka $b František $i D2: Speciální technologie $j D2: New Technologies $p UPT-D $4 070 $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
Počet záznamů: 1