Počet záznamů: 1  

Lineární diagnostický systém plazmové depozice pro velkoplošné procesy

  1. SYS0390204
    LBL
      
    02469^^^^^2200361^^^450
    005
      
    20200403134117.5
    100
      
    $a 20130305d m y slo 03 ba
    101
    0-
    $a cze
    102
      
    $a CZ
    200
    1-
    $a Lineární diagnostický systém plazmové depozice pro velkoplošné procesy
    210
      
    $d 2012
    541
    1-
    $a Linear diagnostic system of plasma deposition for large scale processes $z eng
    610
    0-
    $a heating flux
    610
    0-
    $a plasma
    610
    0-
    $a ion flux
    610
    0-
    $a deposition
    610
    0-
    $a thin films
    610
    0-
    $a deposition rate
    700
    -1
    $3 cav_un_auth*0100245 $a Hubička $b Zdeněk $i Vlnové a částicové šíření světla, optické technologie a materiály $j Wave and corpuscular light propagation, optical technologies and materials $p FZU-D $w Low-Temperature Plasma $4 070 $o Vlnové a částicové šíření světla, optické technologie a materiály $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
    701
    -1
    $3 cav_un_auth*0100168 $a Čada $b Martin $i Vlnové a částicové šíření světla, optické technologie a materiály $j Wave and corpuscular light propagation, optical technologies and materials $p FZU-D $w Low-Temperature Plasma $4 070 $o Vlnové a částicové šíření světla, optické technologie a materiály $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
    701
    -1
    $3 cav_un_auth*0289739 $a Kšírová $b Petra $i Vlnové a částicové šíření světla, optické technologie a materiály $j Wave and corpuscular light propagation, optical technologies and materials $p FZU-D $w Low-Temperature Plasma $4 070 $o Vlnové a částicové šíření světla, optické technologie a materiály $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
    701
    -1
    $3 cav_un_auth*0278316 $a Šmíd $b Jiří $i Vlnové a částicové šíření světla, optické technologie a materiály $j Wave and corpuscular light propagation, optical technologies and materials $p FZU-D $4 070 $o Vlnové a částicové šíření světla, optické technologie a materiály $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
    701
    -1
    $3 cav_un_auth*0098251 $a Olejníček $b Jiří $i Vlnové a částicové šíření světla, optické technologie a materiály $j Wave and corpuscular light propagation, optical technologies and materials $p FZU-D $w Low-Temperature Plasma $4 070 $o Vlnové a částicové šíření světla, optické technologie a materiály $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
    701
    -1
    $3 cav_un_auth*0234460 $a Kment $b Štěpán $i Vlnové a částicové šíření světla, optické technologie a materiály $j Wave and corpuscular light propagation, optical technologies and materials $p FZU-D $w Low-Temperature Plasma $4 070 $o Vlnové a částicové šíření světla, optické technologie a materiály $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
Počet záznamů: 1