Počet záznamů: 1
Uncertainties of displacement measurement of nanometrology coordinate measurement machines caused by laser source fluctuations
SYS 0386112 LBL 03094^^^^^2200409^^^450 005 20240103201829.2 014 $a 000305704500043 $2 WOS 014 $a 84862297485 $2 SCOPUS 017 70
$a 10.1117/12.922439 $2 DOI 100 $a 20130314d m y slo 03 ba 101 0-
$a eng $d eng 102 $a US 200 1-
$a Uncertainties of displacement measurement of nanometrology coordinate measurement machines caused by laser source fluctuations 215 $a 9 s. $c P 463 -1
$1 001 cav_un_epca*0389324 $1 010 $a 978-0-8194-9122-0 $1 011 $a 0277-786X $1 200 1 $a Optical Micro- and Nanometrology IV, (Proceedings of SPIE ) $h Vol. 8430 $v 84301D:1-9 $1 210 $a Bellingham $c SPIE $d 2012 $1 225 $a Photonic Europe 2012 610 0-
$a nanometrology 610 0-
$a interferometry 610 0-
$a laser noise 700 -1
$3 cav_un_auth*0222152 $a Hrabina $b Jan $i D6: Koherenční optika $j D6: Coherents Optics $p UPT-D $w Coherents Optics $4 070 $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0101586 $a Lazar $b Josef $i D6: Koherenční optika $j D6: Coherents Optics $p UPT-D $w Coherents Optics $4 070 $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0101538 $a Číp $b Ondřej $i D6: Koherenční optika $j D6: Coherents Optics $p UPT-D $w Coherents Optics $4 070 $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
Počet záznamů: 1