Počet záznamů: 1
AFM nanometrology interferometric system with the compensation of angle errors
SYS 0367516 LBL 02541^^^^^2200409^^^450 005 20240103195854.0 014 $a 000295076900133 $2 WOS 017 7-
$a 10.1117/12.889544 $2 DOI 100 $a 20111122d m y slo 03 ba 101 0-
$a eng $d eng 102 $a US 200 1-
$a AFM nanometrology interferometric system with the compensation of angle errors 215 $a 6 s. 463 -1
$1 001 cav_un_epca*0367515 $1 010 $a 978-0-8194-8678-3 $1 200 1 $a Optical Measurement Systems for Industrial Inspection VII (Proceedings of SPIE Vol. 8082) $v 80823U:1-6 $1 210 $a Bellingham $c SPIE $d 2011 610 0-
$a atomic force microscopy (AFM) 610 0-
$a nanometrology 610 0-
$a nanoscale 610 0-
$a nanopositioning 610 0-
$a interferometry 610 0-
$a abbe errors 700 -1
$3 cav_un_auth*0222152 $a Hrabina $b Jan $i D6: Koherenční optika $j D6: Coherents Optics $p UPT-D $w Coherents Optics $4 070 $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0101586 $a Lazar $b Josef $i D6: Koherenční optika $j D6: Coherents Optics $p UPT-D $w Coherents Optics $4 070 $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0221074 $a Klapetek $b P. $y CZ $4 070 701 -1
$3 cav_un_auth*0101538 $a Číp $b Ondřej $i D6: Koherenční optika $j D6: Coherents Optics $p UPT-D $w Coherents Optics $4 070 $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
Počet záznamů: 1