Počet záznamů: 1
Effect of Hydrogen on the Properties of Amorphous Carbon Nitride Films
SYS 0352948 LBL 01633^^^^^2200349^^^450 005 20240103194500.9 014 $a 000309016401232 $2 WOS 100 $a 20101230d m y slo 03 ba 101 0-
$a eng $d eng 102 $a CN 200 1-
$a Effect of Hydrogen on the Properties of Amorphous Carbon Nitride Films 215 $a 5 s. 463 -1
$1 001 cav_un_epca*0352947 $1 010 $a 978-1-4244-8759-2 $1 200 1 $a 2010 International Conference on Manufacturing Science and Technology (ICMST 2010) $v S. 291-295 $1 210 $a Chengdu $c Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc $d 2010 610 0-
$a hydrogenated alfa-CNx films 610 0-
$a ressidal stress 610 0-
$a r. f. magnetron sputtering 610 0-
$a SLEEM 610 0-
$a XPS 610 0-
$a TDMS 610 0-
$a AFM 700 -1
$3 cav_un_auth*0258032 $a Mikmeková $b Eliška $i D1: Elektronová mikroskopie $j D1: Electron Microscopy $p UPT-D $w Electron Microscopy $4 070 $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0223246 $a Urbánek $b Michal $i D2: Speciální technologie $j D2: New Technologies $p UPT-D $w New Technologies $4 070 $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0258192 $a Fořt $b Tomáš $i D2: Speciální technologie $j D2: New Technologies $p UPT-D $w New Technologies $4 070 $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0267683 $a Di Mundo $b R. $y IT $4 070
Počet záznamů: 1