Počet záznamů: 1
Generation of positive and negative oxygen ions in magnetron discharge during reactive sputtering of alumina
SYS 0351378 LBL 02374^^^^^2200325^^^450 005 20240103194319.2 014 $a 000285212000004 $2 WOS 017 $a 10.1002/ppap.201000064 $2 DOI 100 $a 20101209d m y slo 03 ba 101 0-
$a eng 102 $a DE 200 1-
$a Generation of positive and negative oxygen ions in magnetron discharge during reactive sputtering of alumina 215 $a 5 s. 463 -1
$1 001 cav_un_epca*0420447 $1 011 $a 1612-8850 $e 1612-8869 $1 200 1 $a Plasma Processes and Polymers $v Roč. 7, č. 11 (2010), s. 910-914 $1 210 $c Wiley 610 0-
$a aluminium oxide 610 0-
$a ion-energy distribution function 610 0-
$a magnetron 610 0-
$a mass spectrometry 610 0-
$a pulsed discharges 700 -1
$3 cav_un_auth*0100459 $a Pokorný $b Petr $i Vlnové a částicové šíření světla, optické technologie a materiály $j Wave and corpuscular light propagation, optical technologies and materials $p FZU-D $w Fabrication and Analysis of Functional Materials $4 070 $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0100150 $a Bulíř $b Jiří $i Vlnové a částicové šíření světla, optické technologie a materiály $j Wave and corpuscular light propagation, optical technologies and materials $p FZU-D $w Fabrication and Analysis of Functional Materials $4 070 $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0100346 $a Lančok $b Ján $i Vlnové a částicové šíření světla, optické technologie a materiály $j Wave and corpuscular light propagation, optical technologies and materials $p FZU-D $w Fabrication and Analysis of Functional Materials $4 070 $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0100398 $a Musil $b Jindřich $i Vlnové a částicové šíření světla, optické technologie a materiály $j Wave and corpuscular light propagation, optical technologies and materials $p FZU-D $w Fabrication and Analysis of Functional Materials $4 070 $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0100418 $a Novotný $b Michal $i Vlnové a částicové šíření světla, optické technologie a materiály $j Wave and corpuscular light propagation, optical technologies and materials $p FZU-D $w Fabrication and Analysis of Functional Materials $4 070 $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
Počet záznamů: 1