Počet záznamů: 1
Comparison of techniques for diffraction grating topography analysis
SYS 0350662 LBL 02067^^^^^2200337^^^450 005 20240111140747.9 014 $a 000290773700010 $2 WOS 100 $a 20101201d m y slo 03 ba 101 0-
$a eng 102 $a CZ 200 1-
$a Comparison of techniques for diffraction grating topography analysis 215 $a 4 s. 463 -1
$1 001 cav_un_epca*0350656 $1 010 $a 978-80-254-6842-5 $1 200 1 $a Proceedings of the 12th International Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation $v S. 29-32 $1 210 $a Brno $c Institute of Scientific Instruments AS CR, v.v.i $d 2010 $1 702 1 $a Mika $b F. $4 340 610 0-
$a Atomic Force Microscopy 610 0-
$a AEM 610 0-
$a Scanning Electron Microscopy 610 0-
$a SEM 610 0-
$a topography imaging 700 -1
$3 cav_un_auth*0258195 $a Matějka $b Milan $i D2: Speciální technologie $j D2: New Technologies $p UPT-D $w New Technologies $4 070 $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0101611 $a Rek $b Antonín $i D1: Elektronová mikroskopie $j D1: Electron Microscopy $p UPT-D $w Electron Microscopy $4 070 $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0101596 $a Mika $b Filip $i D1: Elektronová mikroskopie $j D1: Electron Microscopy $p UPT-D $w Electron Microscopy $4 070 $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0258192 $a Fořt $b Tomáš $i D2: Speciální technologie $j D2: New Technologies $p UPT-D $w New Technologies $4 070 $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0101593 $a Matějková $b Jiřina $i D2: Speciální technologie $j D2: New Technologies $p UPT-D $4 070 $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
Počet záznamů: 1