Počet záznamů: 1
A study of the ion flux during deposition of titanium thin films by hollow cathode plasma jet
SYS 0333649 LBL 03036^^^^^2200397^^^450 005 20240103192521.7 100 $a 20091214d m y slo 03 ba 101 0-
$a eng 102 $a JP 200 1-
$a A study of the ion flux during deposition of titanium thin films by hollow cathode plasma jet 215 $a 5 s. 300 $a MSM0021620834 463 -1
$1 001 cav_un_epca*0330202 $1 011 $a 1883-9630 $1 200 1 $a Journal of Plasma and Fusion Research SERIES $v Roč. 8, - (2009), 719-723 541 1-
$a Studium iontového toku během depozice tenkých vrstev titanu pomocí plazmové trysky s efektem duté katody $z cze 610 0-
$a ion flux 610 0-
$a plasma jet 610 0-
$a hollow cathode 610 0-
$a plasma diagnostics 700 -1
$3 cav_un_auth*0098250 $a Virostko $b Petr $p FZU-D $4 070 $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0100245 $a Hubička $b Zdeněk $p FZU-D $w Low-Temperature Plasma $4 070 $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0100168 $a Čada $b Martin $p FZU-D $w Low-Temperature Plasma $4 070 $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0234460 $a Kment $b Štěpán $p FZU-D $w Low-Temperature Plasma $4 070 $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0100259 $a Jastrabík $b Lubomír $p FZU-D $w Low-Temperature Plasma $4 070 $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0014958 $a Tichý $b M. $y CZ $4 070 856 $u http://www.jspf.or.jp/JPFRS/PDF/Vol8/jpfrs2009_08-0719.pdf
Počet záznamů: 1