Počet záznamů: 1
Electrical probe diagnostics of the hollow cathode plasma jet system for deposition of TiO.sub.x./sub. thin films
SYS 0309887 LBL 02515^^^^^2200421^^^450 005 20240103190217.0 014 $a 000258126900024 $2 WOS 017 $a 10.1002/ctpp.200810085 $2 DOI 100 $a 20080717d m y slo 03 ba 101 0-
$a eng 102 $a DE 200 1-
$a Electrical probe diagnostics of the hollow cathode plasma jet system for deposition of TiOx thin films 215 $a 7 s. 463 -1
$1 001 cav_un_epca*0256454 $1 011 $a 0863-1042 $e 1521-3986 $1 200 1 $a Contributions to Plasma Physics $v Roč. 48, 5-7 (2008), s. 527-533 $1 210 $c Wiley 541 1-
$a Sondová diagnostika plazmového tryskového systému s efektem duté katody pro depozice tenkých vrstev TiOx. $z cze 610 0-
$a hollow cathode 610 0-
$a plasma jet 610 0-
$a probe diagnostics 610 0-
$a deposition of thin films 700 -1
$3 cav_un_auth*0098250 $a Virostko $b Petr $p FZU-D $4 070 $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0100245 $a Hubička $b Zdeněk $p FZU-D $w Low-Temperature Plasma $4 070 $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0100168 $a Čada $b Martin $p FZU-D $w Low-Temperature Plasma $4 070 $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0236881 $a Adámek $b Petr $p FZU-D $w Low-Temperature Plasma $4 070 $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0234460 $a Kment $b Štěpán $p FZU-D $w Low-Temperature Plasma $4 070 $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0014958 $a Tichý $b M. $y CZ $4 070 701 -1
$3 cav_un_auth*0100259 $a Jastrabík $b Lubomír $p FZU-D $w Low-Temperature Plasma $4 070 $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
Počet záznamů: 1