Počet záznamů: 1
Two-dimensional dopant profiling with low energy SEM
SYS 0308202 LBL 01967^^^^^2200253^^^450 005 20240103190041.3 014 $a 000254614600011 $2 WOS 100 $a 20080526d m y slo 03 ba 101 0-
$a eng $d eng 102 $a GB 200 1-
$a Two-dimensional dopant profiling with low energy SEM 215 $a 8 s. 463 -1
$1 001 cav_un_epca*0257031 $1 011 $a 0022-2720 $e 1365-2818 $1 200 1 $a Journal of Microscopy $v Roč. 230, č. 1 (2008), s. 76-83 $1 210 $c Wiley 541 1-
$a Tvorba dvourozměrných profilů dopantu s níkoenergiovým SEM $z cze 610 0-
$a dopant contrast 610 0-
$a low energy SEM 610 0-
$a semiconductors 700 -1
$3 cav_un_auth*0101596 $a Mika $b Filip $p UPT-D $w Electron Microscopy $4 070 $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0101547 $a Frank $b Luděk $p UPT-D $w Electron Microscopy $4 070 $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
Počet záznamů: 1