Počet záznamů: 1
Application of low-energy backscattered electron detection in the inspection of semiconductor devices technology
SYS 0205322 LBL 00000nam^^22^^^^^^^^450 005 20200403121524.4 101 0-
$a eng 102 $a CZ 200 1-
$a Application of low-energy backscattered electron detection in the inspection of semiconductor devices technology 215 $a 2 s. 463 -1
$1 001 cav_un_epca*0290003 $1 011 $a 0447-6441 $1 200 1 $a Jemná mechanika a optika $v Roč. 45, č. 10 (2000), s. 271-272 $1 210 $c Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. 700 -1
$3 cav_un_auth*0101561 $a Hutař $b Otakar $p UPT-D $4 070 $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0101603 $a Oral $b Martin $p UPT-D $w Electron Microscopy $4 070 $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0101598 $a Müllerová $b Ilona $p UPT-D $w Electron Microscopy $4 070 $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0101612 $a Romanovský $b Vladimír $p UPT-D $4 070 $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. 856 4-
$u mailto:ota@isibrno.cz
Počet záznamů: 1