Počet záznamů: 1
Contrast Generation in Low Energy SEM Imaging of Doped Semiconductor
SYS 0109047 LBL 02654^^^^^2200265^^^450 005 20200403113533.4 100 $a 20050511d m y slo 03 ba 101 0-
$a eng 102 $a CZ 200 1-
$a Contrast Generation in Low Energy SEM Imaging of Doped Semiconductor 215 $a 2 s. 463 -1
$1 001 cav_un_epca*0033320 $1 010 $a 80-239-3246-2 $1 200 1 $a Proceedings of the 9th International Seminar Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation $v s. 51-52 $1 210 $a Brno $c Institute of Scientific Instruments AS CR $d 2004 $1 702 1 $a Müllerová $b I. $4 340 541 1-
$a Tvorba kontrastu při zobrazení dopovaného polovodiče v nízkoenergiovém REM $z cze 610 0-
$a low energy SEM 610 0-
$a doped semiconductor 700 -1
$3 cav_un_auth*0101596 $a Mika $b Filip $p UPT-D $w Electron Microscopy $4 070 $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0101547 $a Frank $b Luděk $p UPT-D $w Electron Microscopy $4 070 $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
Počet záznamů: 1