Qualification of 1030 nm ultra-short-pulsed laser for glass sheet treatment in TGV process

Vanda, J., Muresan, M.-G., Čech, P., Mydlář, M., Pilná, K., Smrž, M., Chyla, M., Mužík, J., Štěpánková, D., Brajer, J., Mocek, T., Stoklasa, B., Venos, Š., Kuchařík, J. Qualification of 1030 nm ultra-short-pulsed laser for glass sheet treatment in TGV process. In: QIAO, J., NARAZAKI, A., GEMINI, L., eds. Laser Applications in Microelectronic and Optoelectronic Manufacturing (LAMOM) XXVII. Bellingham: SPIE, 2022, č. článku 1198804. ISBN 978-1-5106-4848-7. ISSN 0277-786X. Dostupné z: doi: 10.1117/12.2610143.