Počet záznamů: 1
Vícetryskový PVD depoziční systém
- 1.Šmíd, J., Olejníček, J., Hubička, Z., Čada, M. Vícetryskový PVD depoziční systém. Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i., Na Slovance 2, Praha 8, 2016. Funkční vzorek UHV-4DK/FZU2016.
Počet záznamů: 1