Počet záznamů: 1
PEC Reliability in 3D E-beam DOE Nanopatterning
- 1.Krátký, S., Urbánek, M., Kolařík, V. PEC Reliability in 3D E-beam DOE Nanopatterning. Microscopy and Microanalysis. 2015, 21(S4), 230-235. ISSN 1431-9276. E-ISSN 1435-8115. Dostupné z: doi: 10.1017/S1431927615013422
Počet záznamů: 1