Počet záznamů: 1
Measurement of current density distribution in shaped e-beam writers
- 1.Horáček, M., Bok, J., Kolařík, V., Urbánek, M., Matějka, M., Krátký, S. Measurement of current density distribution in shaped e-beam writers. In: 18th International Microscopy Congres. Proceedings. Praha: Czechoslovak Microscopy Society, 2014. ISBN 978-80-260-6720-7.
Počet záznamů: 1