Počet záznamů: 1
Aparatura pro měření toků neutrálních a ionizovaných částic na substrát v nízkoteplotním plazmatu
- 1.Hubička, Z., Čada, M., Adámek, P., Kment, Š., Olejníček, J. Aparatura pro měření toků neutrálních a ionizovaných částic na substrát v nízkoteplotním plazmatu. Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i., 2013. Funkční vzorek IONEU2013.
Počet záznamů: 1