Počet záznamů: 1
Programovatelný systém pro monitorování a řízení depozice tenkých vrstev v plazmatu
- 1.Adámek, P., Čada, M., Hubička, Z., Kment, Š., Olejníček, J. Programovatelný systém pro monitorování a řízení depozice tenkých vrstev v plazmatu. Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i., 2013. Funkční vzorek DPCS/FZÚ/2013.
Počet záznamů: 1