Počet záznamů: 1
Systém pro měření toků neutrálních a ionizovaných depozičních částic dopadajících na substrát při růstu tenkých vrstev
- 1.Hubička, Z., Čada, M., Kubart, T., Adámek, P., Olejníček, J., Kment, Š. Systém pro měření toků neutrálních a ionizovaných depozičních částic dopadajících na substrát při růstu tenkých vrstev. Užitný vzor 25867. 16. 9. 2013. Dostupné z: http://spisy.upv.cz/UtilityModels/FullDocuments/FDUM0025/uv025867.pdf
Počet záznamů: 1