Počet záznamů: 1
Comparative study on dry etching of polycrystalline diamond thin films
- 1.Ižák, T., Kromka, A., Babchenko, O., Ledinský, M., Hruška, K., Verveniotis, E. Comparative study on dry etching of polycrystalline diamond thin films. Vacuum. 2012, 86(6), 799-802. ISSN 0042-207X. E-ISSN 1879-2715. Dostupné z: doi: 10.1016/j.vacuum.2011.07.023.
Počet záznamů: 1