Počet záznamů: 1
On angle resolved RF magnetron sputtering of Ge-Sb-Te thin films
- 1.Gutwirth, J., Wágner, T., Bezdička, P., Hrdlička, M., Vlček, M., Frumar, M. On angle resolved RF magnetron sputtering of Ge-Sb-Te thin films. Journal of Non-Crystalline Solids. 2009, 355(37-42), 1935-1938. ISSN 0022-3093. E-ISSN 1873-4812. Dostupné z: doi: 10.1016/j.jnoncrysol.2009.04.060
Počet záznamů: 1