Počet záznamů: 1
Homogenization of CZ Si wafers by Tabula Rasa annealing
- 1.Meduňa, M., Caha, O., Kuběna, J., Kuběna, A., Buršík, J. Homogenization of CZ Si wafers by Tabula Rasa annealing. Physica B-Condensed Matter. 2009, 404(-), 4637-4640. ISSN 0921-4526. E-ISSN 1873-2135.
Počet záznamů: 1