Qualification of 1030 nm ultra-short-pulsed laser for glass sheet treatment in TGV process

VANDA, J., MURESAN, M.-G., ČECH, P., MYDLÁŘ, M., PILNÁ, K., SMRŽ, M., CHYLA, M., MUŽÍK, J., ŠTĚPÁNKOVÁ, D., BRAJER, J., MOCEK, T., STOKLASA, B., VENOS, Š., KUCHAŘÍK, J. Qualification of 1030 nm ultra-short-pulsed laser for glass sheet treatment in TGV process. In: QIAO, J., NARAZAKI, A., GEMINI, L., eds. Laser Applications in Microelectronic and Optoelectronic Manufacturing (LAMOM) XXVII. Bellingham: SPIE, 2022, č. článku 1198804. ISBN 978-1-5106-4848-7. ISSN 0277-786X. Dostupné z: doi: 10.1117/12.2610143.