Počet záznamů: 1
Functional nano-structuring of thin silicon nitride membranes
- 1.MATĚJKA, M., KRÁTKÝ, S., ŘIHÁČEK, T., KNÁPEK, A., KOLAŘÍK, V. Functional nano-structuring of thin silicon nitride membranes. Journal of Electrical Engineering - Elektrotechnický časopis. 2020, 71(2), 127-130. ISSN 1335-3632. E-ISSN 1339-309X. Dostupné z: doi: 10.2478/jee-2020-0019.
Počet záznamů: 1