Počet záznamů: 1
Reaktivní HiPIMS depoziční systém optimalizovaný pro tenké optické vrstvy
- 1.HUBIČKA, Z., ČADA, M., OLEJNÍČEK, J., KŠÍROVÁ, P., STRAŇÁK, V., ADÁMEK, P., TVAROG, D. Reaktivní HiPIMS depoziční systém optimalizovaný pro tenké optické vrstvy. Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i., Oddělení optických a biofyzikálních systémů, 2018. Funkční vzorek FVG1/FZU/2018.
Počet záznamů: 1