Počet záznamů: 1
Mass spectrometry investigation of magnetron sputtering discharges
- 1.POKORNÝ, P., MUSIL, J., LANČOK, J., FITL, P., NOVOTNÝ, M., BULÍŘ, J., VLČEK, J. Mass spectrometry investigation of magnetron sputtering discharges. Vacuum. 2017, 143(6), 438-443. ISSN 0042-207X. E-ISSN 1879-2715. Dostupné z: doi: 10.1016/j.vacuum.2017.06.032
Počet záznamů: 1