Počet záznamů: 1
Aparatura pro měření toků neutrálních a ionizovaných částic na substrát v nízkoteplotním plazmatu
- 1.HUBIČKA, Z., ČADA, M., ADÁMEK, P., KMENT, Š., OLEJNÍČEK, J. Aparatura pro měření toků neutrálních a ionizovaných částic na substrát v nízkoteplotním plazmatu. Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i., 2013. Funkční vzorek IONEU2013.
Počet záznamů: 1