Počet záznamů: 1
Programovatelný systém pro monitorování a řízení depozice tenkých vrstev v plazmatu
- 1.ADÁMEK, P., ČADA, M., HUBIČKA, Z., KMENT, Š., OLEJNÍČEK, J. Programovatelný systém pro monitorování a řízení depozice tenkých vrstev v plazmatu. Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i., 2013. Funkční vzorek DPCS/FZÚ/2013.
Počet záznamů: 1