Počet záznamů: 1
Hybridní a modulární mikrovlnný plazmatický depoziční systém s povrchovou vlnou a uspořádáním plazmatických kanálů PLASMASTR01
- 1.ŠMÍD, J., HUBIČKA, Z., STRAŇÁK, V., CHURPITA, O., ČADA, M., JASTRABÍK, L., OLEJNÍČEK, J., BABCHENKO, O., KROMKA, A., POTOCKÝ, Š., LUKAŠÍK, P., PIJÁK, A., DOLÁK, J., MARTINEK, P., PITRUN, J., REK, Š., KONEČNÝ, L., MAREŠ, G., ŠTEPÁNEK, J., JAKEŠ, J., KŘENEK, Z., JOŠTIC, M. Hybridní a modulární mikrovlnný plazmatický depoziční systém s povrchovou vlnou a uspořádáním plazmatických kanálů PLASMASTR01. 50% Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i., 50% SVCS Process Innovation s.r.o., 2011. Funkční vzorek PST1/FZÚ-SVCS/2011.
Počet záznamů: 1