Hybridní a modulární mikrovlnný plazmatický depoziční systém s povrchovou vlnou a uspořádáním plazmatických kanálů PLASMASTR01

ŠMÍD, J., HUBIČKA, Z., STRAŇÁK, V., CHURPITA, O., ČADA, M., JASTRABÍK, L., OLEJNÍČEK, J., BABCHENKO, O., KROMKA, A., POTOCKÝ, Š., LUKAŠÍK, P., PIJÁK, A., DOLÁK, J., MARTINEK, P., PITRUN, J., REK, Š., KONEČNÝ, L., MAREŠ, G., ŠTEPÁNEK, J., JAKEŠ, J., KŘENEK, Z., JOŠTIC, M. Hybridní a modulární mikrovlnný plazmatický depoziční systém s povrchovou vlnou a uspořádáním plazmatických kanálů PLASMASTR01. 50% Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i., 50% SVCS Process Innovation s.r.o., 2011. Funkční vzorek PST1/FZÚ-SVCS/2011.