Počet záznamů: 1
CO2 Laser Photosensitized Decomposition of Diethylsilane for Deposition of SiXC1-X Coatings
- 1.JAKOUBKOVÁ, M., BASTL, Z., ŠUBRT, J., POKORNÁ, D., FAJGAR, R., POLA, J. CO2 Laser Photosensitized Decomposition of Diethylsilane for Deposition of SiXC1-X Coatings. In: VLAD, V. I., ed. ROMOPTO '94. Conference in Optics. Proceedings Series SPIE. 2461. Bellingham: SPIE, 1994, s. 121-123. ISBN 0-8194-1813-7.
Počet záznamů: 1