Počet záznamů: 1
Multi-SWD plasma jet system for PECVD deposition of thin films
- 1.OLEJNÍČEK, Jiří, ČADA, Martin, ŠMÍD, Jiří, KMENT, Štěpán, HUBIČKA, Zdeněk. Multi-SWD plasma jet system for PECVD deposition of thin films. IEEE Transactions on Plasma Science. 2014, 42(10), 2502-2503. ISSN 0093-3813. E-ISSN 1939-9375. Dostupné z: doi: 10.1109/TPS.2014.2314214
Počet záznamů: 1