Počet záznamů: 1
Measurement of current density distribution in shaped e-beam writers
- 1.HORÁČEK, Miroslav, BOK, Jan, KOLAŘÍK, Vladimír, URBÁNEK, Michal, MATĚJKA, Milan, KRÁTKÝ, Stanislav. Measurement of current density distribution in shaped e-beam writers. In: 18th International Microscopy Congres. Proceedings. Praha: Czechoslovak Microscopy Society, 2014. ISBN 978-80-260-6720-7.
Počet záznamů: 1