Počet záznamů: 1
Aparatura pro měření toků neutrálních a ionizovaných částic na substrát v nízkoteplotním plazmatu
- 1.HUBIČKA, Zdeněk, ČADA, Martin, ADÁMEK, Petr, KMENT, Štěpán, OLEJNÍČEK, Jiří. Aparatura pro měření toků neutrálních a ionizovaných částic na substrát v nízkoteplotním plazmatu. Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i., 2013. Funkční vzorek IONEU2013.
Počet záznamů: 1