Počet záznamů: 1
Modified knife-edge method for current density distribution measurements in e-beam writers
- 1.BOK, Jan, KOLAŘÍK, Vladimír, HORÁČEK, Miroslav, MATĚJKA, Milan, MATĚJKA, František. Modified knife-edge method for current density distribution measurements in e-beam writers. Journal of Vacuum Science & Technology B. 2013, 31(3), 031603:1-6. ISSN 1071-1023. Dostupné z: doi: 10.1116/1.4802920
Počet záznamů: 1