Počet záznamů: 1
Systém pro měření toků neutrálních a ionizovaných depozičních částic dopadajících na substrát při růstu tenkých vrstev
- 1.HUBIČKA, Zdeněk, ČADA, Martin, KUBART, T., ADÁMEK, Petr, OLEJNÍČEK, Jiří, KMENT, Štěpán. Systém pro měření toků neutrálních a ionizovaných depozičních částic dopadajících na substrát při růstu tenkých vrstev. Užitný vzor 25867. 16. 9. 2013. Dostupné z: http://spisy.upv.cz/UtilityModels/FullDocuments/FDUM0025/uv025867.pdf
Počet záznamů: 1