Počet záznamů: 1
Lineární diagnostický systém plazmové depozice pro velkoplošné procesy
- 1.HUBIČKA, Zdeněk, ČADA, Martin, KŠÍROVÁ, Petra, ŠMÍD, Jiří, OLEJNÍČEK, Jiří, KMENT, Štěpán. Lineární diagnostický systém plazmové depozice pro velkoplošné procesy. Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i., 2012. Funkční vzorek FS3/FZÚ/2012.
Počet záznamů: 1